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专利名称: 一种微电子机械传感器的被动光学反馈控制方法及装置
英文名称:
专利类别:
申请号: 201010160210.9
申请日期: 2010.04.23
授权日期: 2011.08.31
专利号: 201010160210.9
第一发明人: 付号
其它发明人: 曹更玉
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期: 2011.08.31
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:
   

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